Som en tommelfingerregel, enheter der de fleste av funksjonene (gap eller linjer, trinnhøyde, etc.) er på eller under 100 μ m oppfylle "dimensjoner i størrelsesorden mikrometer" kriterier. Definisjonen av MEMS som transdusere betyr at begrepet kan brukes litt mer generelt enn andre definisjoner ville tillate. For eksempel infrarøde skjermer som bruker suspendert strukturer til termisk isolere hver piksel passer fint inn i denne definisjonen som deres operasjon er avhengig av den tredimensjonale struktur suspendert selv om det ikke er noen bevegelige mekaniske element til enheten. Det betyr imidlertid ikke utelukke enheter som Hall-effektsensorer eller fotodioder, som er avhengige hovedsakelig på sin elektriske (eller kjemisk) struktur for sin drift. Det har også en tendens til å utelukke halvlederlasere av lignende grunner, og komponenter slik som effekt-MOSFET-transistorer som er dannet ved å etse spor i V silikonsubstratet er også utelukket som de er rent elektriske apparater. Når man er fornøyd med begrepet microengineering , kan man lage alle de aktuelle underdisipliner som man trenger bare ved å ta den konvensjonelle disiplin navn og legge til prefikset mikro til det. Dermed har vi MicroFluidics, mikromekanikk, mikrolitografi, mikro, etc., og, selvfølgelig, mikroelektronikk. betyr Denne fleipete kommentar ikke at disse fagområdene er ganske enkelt macroscale disiplin med mindre tall inngått ligningene. I mange tilfeller kan dette gjøres, men i andre kan dette føre til feilaktige resultater. Det er ment å påpeke at det er relativt få overraskelser i nomenklaturen. På dette punktet, er det verdt å fremheve forskjellen mellom vitenskap og teknikk som det er av stor import til microengineer. Science mål å forstå universet og bygge en kropp av kunnskap som beskriver hvordan universet fungerer. Engineering er den praktiske anvendelsen av vitenskap til fordel for menneskeheten. Beskrivelsen av universet utarbeidet av forskere er ofte så komplekse at det er for uhåndterlig skal praktiseres. Ingeniører, derfor ta mer praktisk biter av denne kunnskapen som gjelder for den situasjonen som de er bekymret. Spesielt ingeniører ansette modeller som er begrenset. For eksempel ved beregning av banen til en kastet ball, Newtons bevegelseslover vil nHvorfor Ingeniører unngå å bruke en blyant for merking på Metals?